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氣浮渠道是光刻機(jī)貼片機(jī)等電子制作設(shè)備的首要工作機(jī)構(gòu)。伴隨著電子產(chǎn)品的出產(chǎn)，產(chǎn)品的體積越來越小，對精度的要求越來越高。所以，高精度、高穩(wěn)定性的移動渠道對于電子設(shè)備的發(fā)展有著無足輕重的效果。別的，微電子體系制作和測驗(yàn)、光學(xué)丈量加工、超精細(xì)加工、航空發(fā)動機(jī)丈量制作等領(lǐng)域都離不開精細(xì)定位技術(shù)。由于空氣軸承精度比滾動軸承高兩個(gè)數(shù)量級，且精度高，摩擦系數(shù)小，工作環(huán)境極限，選用氣浮臺方案是精細(xì)運(yùn)動渠道設(shè)計(jì)的理想挑選。

氣浮渠道分為氣浮直線渠道與氣浮轉(zhuǎn)臺，由氣浮導(dǎo)軌或氣浮軸承導(dǎo)向，直驅(qū)電機(jī)驅(qū)動及光柵尺閉環(huán)反應(yīng)組成氣浮渠道。直驅(qū)運(yùn)動不存在中心傳動環(huán)節(jié)，提高渠道的全體精度，運(yùn)轉(zhuǎn)速度平穩(wěn)。負(fù)載慣量和體系帶寬相對較大，有良好的動態(tài)特性。

基于空氣軸承的基本原理，完成無摩擦和無振蕩的平滑移動。它具有運(yùn)動精度高、清潔無污染等特點(diǎn)。同時(shí)還具有差錯(cuò)均化效果，來獲得較高的導(dǎo)向精度。氣浮導(dǎo)軌在丈量設(shè)備、精細(xì)機(jī)械中得到了廣泛的使用。氣浮渠道在氣體光滑的體現(xiàn)上看，承載才能、氣體流量均有超常規(guī)體現(xiàn)，特別是關(guān)鍵的性能指標(biāo)位移精度上，相對于傳統(tǒng)導(dǎo)軌有著成數(shù)量級的明顯優(yōu)勢，精細(xì)機(jī)械、丈量儀器等領(lǐng)域使用氣浮導(dǎo)軌是行業(yè)發(fā)展的必然趨勢。