
發(fā)布者: 點(diǎn)擊:0
隨著半導(dǎo)體進(jìn)入到快速開展的階段,相應(yīng)的加工檢測(cè)設(shè)備也會(huì)逐步的進(jìn)步功能,所以有許多的公司都會(huì)用到氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái),這是一款高精度的設(shè)備,首要作用于半導(dǎo)體加工、檢測(cè),微納加工,測(cè)驗(yàn)丈量等,可是它到底有哪一些首要的優(yōu)勢(shì)。
高直線度和平面度
高定位精度和重復(fù)定位
運(yùn)動(dòng)速度平穩(wěn)
納米級(jí)微動(dòng)步距
氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)的高直線度和平面度依賴于氣浮導(dǎo)軌,材質(zhì)分為鋁合金、大理石及碳化硅陶瓷等,研究其高壓氣膜的壓力分布、氣源壓力、節(jié)流器、均壓槽深度等,找到了較優(yōu)氣膜剛度時(shí)的參數(shù)區(qū)間有著超卓的功能精度,實(shí)現(xiàn)較大速度2米/秒,可以擁有4G的加速度,并且承載的能力也非常的超卓,所以在現(xiàn)在的市場(chǎng)上已經(jīng)逐步得到我們的認(rèn)可,只是當(dāng)我們?cè)谔暨x設(shè)備時(shí),或許也會(huì)存在許多的疑問,比如說要挑選哪種材質(zhì)的氣浮導(dǎo)軌。
其實(shí)材質(zhì)的挑選是跟用戶的使用有著緊密的聯(lián)系,單從性價(jià)比角度了解,碳化硅陶瓷材質(zhì)的氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)精度高,當(dāng)然本錢也昂貴,鋁合金與大理石材質(zhì)的相同功能比較,鋁合金的加工難度大些,本錢較高,大理石的本錢較便宜些。
利用的直線電機(jī)驅(qū)動(dòng),挑選無鐵芯設(shè)計(jì),特點(diǎn)是無齒槽效應(yīng),高動(dòng)態(tài)功能及電流噪音小等,所以在運(yùn)動(dòng)的過程中可以實(shí)現(xiàn)超平穩(wěn)的效果,別的配置光柵尺閉環(huán)反饋的控制系統(tǒng),取得高定位精度和重復(fù)定位精度,控制器對(duì)光柵尺較大65536倍細(xì)分,取得納米級(jí)微動(dòng)步距。
所以從各個(gè)方向的優(yōu)勢(shì)來看,氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)已經(jīng)成為當(dāng)時(shí)從事高精密使用職業(yè)的挑選,可以進(jìn)步整個(gè)系統(tǒng)的精度功能。